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磁控溅射镀膜设备的常见故障排除

作者: 来源: 日期:2020/3/9 10:02:42 人气:2234
1.镀膜层灰暗或者发黑 

    ①磁控溅射镀膜设备的真空度太低,提升真空度至0.4pa既可。

    ②溅射时间太长,缩短溅射时间既可。

    ③磁控溅射镀膜设备的充气系统出现漏气,检查充气系统,发现损坏则给予更换。

 2.镀膜层的色泽不均匀 

    ①膜层太薄,提高溅射的速度或者延长设备溅射的时间。

    ②产品的形状太过复杂,可以适当提高产品在磁控溅射镀膜设备中的旋转速度。

3.镀膜层龟裂 

    ①涂料的粘度太高,降低涂料的粘度即可。

    ②镀膜层太厚,适当剪短溅射的时间。

    ③磁控溅射镀膜设备的温度太高,适当缩短产品的加热时间。

4.镀膜层表面不洁净 

    ①产品在镀膜之前清洗完后未进行完全干燥,加强镀膜前产品处理

    ②操作者手接触过产品,这种情况应规定操作者严禁身体触屏待镀膜产品。
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