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扩散泵无法取代的独特优势

作者: 来源: 日期:2020/6/24 11:21:00 人气:58
扩散泵是一种蒸气射流泵, 泵油被加热后产生油蒸汽,油蒸汽从伞形喷嘴高速喷出,射流上方的气体扩散到射流内并被高速的大分子蒸汽携带到泵壁。由于泵壁温度较低,油蒸汽接触到泵壁后会迅速液化,被携带的永久气体继续向下一级射流扩散并被携带至更下一级,直至最后被前级真空泵抽走。
一般的扩散泵有3到5级伞形喷嘴,有的扩散泵还会增加一级侧向的喷射喷嘴,喷射喷嘴可以提高扩散泵在较高压力下工作的能力(抽速和前级耐压)。
扩散泵功耗很大,并且使用时需要大量的冷却水,却还如此广泛的使用,主要原因有下面几点:

具有最优的抽速/比;

抽速大、可以处理巨大的气体流量;

没有活动部件,高可靠、维护少,寿命长。


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