通俗的定义为在正常状况下，其应用功能不会失效。
想要达到这个目的，一般而言这层薄膜必须具有坚牢的附着力、很低的内应力、针孔密度很少、够强的机械性能、
均匀的膜厚、以及足够的抗化学侵蚀性。薄膜的特性主要受到沉积过程、成膜条件、
接口层的形成和基材的影响，随后的热处理亦扮演重要角色。
沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何?
薄膜和基材之间的晶格失配
薄膜和基材之间的热膨胀系数差异
晶界之间的互挤
通俗的定义为在正常状况下，其应用功能不会失效。
想要达到这个目的，一般而言这层薄膜必须具有坚牢的附着力、很低的内应力、针孔密度很少、够强的机械性能、
均匀的膜厚、以及足够的抗化学侵蚀性。薄膜的特性主要受到沉积过程、成膜条件、
接口层的形成和基材的影响，随后的热处理亦扮演重要角色。
沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何?
薄膜和基材之间的晶格失配
薄膜和基材之间的热膨胀系数差异
晶界之间的互挤
