一、什么是等离子体（plasma）？ 

等离子（plasma）是除固体、液体、气体之外的第四种物质状态，主要是由气体在高电磁场作用下发生解离，

形成一种包括电子（带负电），正离子（带正电），自由基和中性气体分子组成的高活性物质，通产情况下会发光。

一般情况下，等离子中的正电荷数等于负电荷数，所以整体呈电中性（Quasi-neutral）。

日常生活中见到的闪电、日光灯、霓虹灯就是等离子体发光现象。

        二、等离子的产生 Plasma generation 

等离子的产生有很多种方法，但生成和维持都需要外部能量的输入。

电子从外加电磁场获得能量，然后发生非弹性碰撞产生激发（excitation）、解离吸附（dissociative attachment）、

解离（dissociation）、离子化（ionization）、在结合（recombination）反应，由此产生二次电子、原子、分子、离子等物质，

然而在解离碰撞中，电子可能与气体离子有再结合作用，或者因为漂移及扩散而离开电磁场范围等原因消失，

因此当电子产生与消失的速率相等时，此时的plasma即为稳定状态。这里列举四种ETCH常用产生plasma的方法，后面会详解介绍。

三、等离子体的参数 plasma parameters

平均自由路径（Mean Free Path，MFP）：

粒子与粒子碰撞前能够移动的平均距离。MFP与环境压力P呈反比，压力越高，MFP越短，

压力约低，MFP越长，这就是为什么plasma产生要在低压近似真空环境下产生，

因为在大气压力下（760Torr），电子的MFP很短，很难获得足够的能力来使用气体离子化。