质量流量计，即MASS FLOW METER(缩写为MFM),是一种精确测量气体流量的仪表，

其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。

质量流量控制器，即Mass flow controller(缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，

更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，

即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。

简单地说，质量流量控制器就是一个稳定装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。