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靶材

作者: 来源: 日期:2021/3/2 13:10:49 人气:1517

射靶材: 溅射靶材按形状分类:矩形平面靶材、圆形平面靶材、圆柱靶材

 溅射靶材按成分分类:单质金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材

平面靶材利用率比较低,只有30%左右,沿着环形跑道刻蚀。 


靶材冷却与靶背板 

1. 靶功率密度与靶材冷却:靶功率越大,溅射速度越大;靶允许的功率与靶材的性质及冷却有关;靶材采用直接水冷,允许的靶功率高。

2. 靶背板 

使用场合:ITO,SiO2,陶瓷等脆性靶材及烧结靶材Sn(锡), In(铟)等软金属靶;靶材太薄、靶材太贵

材质要求:导热性好---常用无氧铜,无氧铜的导热性比紫铜好;强度足够---太薄,容易变形,不易真空密封。 

结构: 空心或者实心结构---磁钢不泡或泡在冷水中;厚度适当---太厚,消耗部分磁强;太薄,容易变形。 

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