扩散泵是一种蒸气射流泵, 泵油被加热后产生油蒸汽，油蒸汽从伞形喷嘴高速喷出，射流上方的气体扩散到射流内并被高速的大分子油蒸汽携带到泵壁。由于泵壁温度较低，油蒸汽接触到泵壁后会迅速液化，被携带的永久气体继续向下一级射流扩散并被携带至更下一级，直至最后被前级真空泵抽走。一般的扩散泵有3到5级伞形喷嘴，有的扩散泵还会增加一级侧向的喷射喷嘴，喷射喷嘴可以提高扩散泵在较高压力下工作的能力（抽速和前级耐压）。扩散泵功耗很大，并且使用时需要大量的冷却水，却还被如此广泛的使用，主要原因有下面几点：
具有最优的抽速/价格比；
抽速大、可以处理巨大的气体流量；
没有活动部件，高可靠、维护少，寿命长。
