靶材

射靶材： 溅射靶材按形状分类：矩形平面靶材、圆形平面靶材、圆柱靶材

 溅射靶材按成分分类：单质金属靶材、合金靶材、陶瓷靶材

平面靶材利用率比较低，只有30%左右，沿着环形跑道刻蚀。 

靶材冷却与靶背板 

1. 靶功率密度与靶材冷却：靶功率越大，溅射速度越大；靶允许的功率与靶材的性质及冷却有关；靶材采用直接水冷，允许的靶功率高。

2. 靶背板 

使用场合：ITO,SiO2,陶瓷等脆性靶材及烧结靶材Sn(锡）, In（铟）等软金属靶；靶材太薄、靶材太贵

材质要求：导热性好---常用无氧铜，无氧铜的导热性比紫铜好；强度足够---太薄，容易变形，不易真空密封。 

结构： 空心或者实心结构---磁钢不泡或泡在冷水中；厚度适当---太厚，消耗部分磁强；太薄，容易变形。