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真空蒸镀法

2020/7/6 9:54:36 人气(2901)

真空蒸镀法

真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀法,Vacuum Evaporation) 是指在一定的真空条件下,利用高温加热蒸镀材料(金属合金或金属氧化物)到一定温度条件下, 

使其原子或分子从表面汽化逸出,形成蒸汽流,并飞行溅射到玻璃基板表面凝结形成固态薄膜的方法。

 

由于真空蒸锻法的主要物理过程是通过加热蒸发材料而产生,所以又称热蒸发法。蒸发源作为蒸发装置的关键部件,

大多数蒸发材料都要求在1000-2000℃的高温下蒸发。真空蒸镀法按蒸发源的不同可分为电阻法、电子束蒸发法、高频感应法和激光蒸发法等。

目前,采用真空蒸镀法生产镀膜玻璃的均是采用间歇式生产。